În comparație cu pulverizarea tradițională cu două fluide, pulverizarea cu ultrasunete are avantajele uniformității ridicate a acoperirii, a utilizării ridicate a materiei prime, a preciziei ridicate a controlului grosimii acoperirii, a grosimii mai subțiri a acoperirii, a stropirii mai puține, a lipirii duzelor și a costurilor reduse de întreținere. Comparativ cu evaporarea sub vid, CVD și alte procese de acoperire, pulverizarea cu ultrasunete este un proces de acoperire cu film subțire mai economic, în special pentru prepararea filmului cu suprafețe mai mari. Costul echipamentelor de pulverizare cu ultrasunete este mult mai mic decât cel al echipamentelor de acoperire cu vid. Să introducem pe scurt aceste avantaje principale ale pulverizării cu ultrasunete.
Uniformitate ridicată a acoperirii
Uniformitatea distribuției particulelor lichide după ce a fost atomizată de duza cu ultrasunete este semnificativ mai mare decât cea a duzei cu două fluide, cunoscută și sub numele de pistol de pulverizare cu aer, astfel încât uniformitatea învelișului după pulverizarea duzei cu ultrasunete este, de asemenea, îmbunătățită semnificativ. În general, uniformitatea stratului de pulverizare cu ultrasunete poate ajunge la peste 95%.
2. Utilizare ridicată a materiei prime și mai puțină stropire
Deoarece pulverizarea cu ultrasunete este atomizarea lichidă prin vibrații ultrasonice, învelișul nu este atomizat în timpul procesului de atomizare, adică procesul de atomizare nu necesită presiune și numai o presiune de gaz purtător foarte mică este aplicată după atomizare pentru a transporta ceața lichidă. Reduce foarte mult săritura și stropirea lichidului cauzată de aerul de înaltă presiune pulverizat de două fluide, îmbunătățind astfel rata de utilizare a stratului. Rata de utilizare a materiei prime a pulverizării cu ultrasunete este de peste 4 ori mai mare decât cea a pulverizării obișnuite cu aer, iar rata de utilizare poate ajunge la peste 90%.
3. Precizie ridicată a controlului grosimii acoperirii
Principalul factor care afectează precizia grosimii învelișului este debitul de pulverizare al învelișului, adică cantitatea de material transportată pe substrat pe unitatea de timp. Capul de pulverizare cu ultrasunete nu are nicio presiune asupra lichidului, deci poate controla complet fluxul de lichid al stratului de pulverizare atomizat printr-o pompă de dozare de înaltă precizie, realizând astfel un control de debit de pulverizare de înaltă precizie. Cum ar fi o pompă cu seringă de înaltă precizie, precizia sa de control al debitului poate atinge nivelul de picolitri pe secundă, iar designul microcanal al duzei cu ultrasunete poate atinge, de asemenea, precizia generală de control a nanolitrilor pe secundă.
4. Grosimea stratului subțire poate atinge zeci de nanometri
Deoarece volumul de pulverizare al capului de pulverizare cu ultrasunete poate atinge un debit stabil foarte mic (0,001 ml / min), poate realiza o cantitate foarte mică de încărcare pe substrat, obținând astfel o peliculă uscată foarte subțire. Pentru unele nanomateriale, grosimea filmului uscat poate fi la fel de mică ca zeci de nanometri. Poate fi folosit pentru a pregăti pelicule subțiri de sticlă, cum ar fi pelicula conductivă transparentă, pelicula antireflexie antireflexie, pelicula de protecție termică și pelicula hidrofobă.
5. Fără înfundarea duzelor și costuri mici de întreținere
Deoarece duza cu ultrasunete este un lichid atomizat prin oscilație cu ultrasunete, iar particulele atomizate sunt determinate de frecvența de oscilație cu ultrasunete, este diferită de duza cu două fluide. Diametrul duzei nu trebuie să fie foarte mic pentru a obține particule fine atomizate, deci reduce riscul înfundării duzei.
